Metrology, inspection and process control for microlithography XII - 23-25 February 1998, Santa Clara, California
- Författare
- (Bhanwar Singh, chair/editor)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1998 | USA | 744 sidor. | 0-8194-2777-2 |